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IEC 62047-3:2006
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing- 발행일 : 2006-08-15
- 발행기관 : IEC
상세정보
| 분야 | TC 47/SC 47F : Micro-electromechanical systems |
|---|---|
| 적용범위 | Specifies a standard test piece, which is used to guarantee the propriety and accuracy of a tensile testing system for thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 m, which are main structural materials for microelectromechanical systems (MEMS), micromachines and similar devices. It is based on such a concept that a tensile testing system can be guaranteed in propriety and accuracy, when the measured tensile strengths of the standard test pieces, whose tensile strength is pre-determined, are within the designated range. It also specifies the test pieces to minimize characteristics deviation among the pieces. |
| 국제분류(ICS)코드 | 31.080.99 : 기타 반도체 장치 |
| 페이지수 | 15 |
| Edition | 1.0 |
이력정보
| No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | IEC 62047-3:2006상세보기 | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing | 2006-08-15 | 표준 |
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